ДВС.2.01.04 3 NEMS та MEMS сенсори

Освітня програма: ВИСОКІ ТЕХНОЛОГІЇ (ХІМІЯ ТА НАНОМАТЕРІАЛИ)

Структурний підрозділ: Інститут високих технологій

Назва дисципліни
ДВС.2.01.04 3 NEMS та MEMS сенсори
Код дисципліни
ДВС.2.01.04
Тип модуля
Вибіркова дисципліна для ОП
Цикл вищої освіти
Другий
Рік навчання
2023/2024
Семестр / Триместр
3 Семестр
Кількість кредитів ЕСТS
3
Результати навчання
The ability to build adequate models of chemical phenomena, to study them for obtaining new conclusions and deepening of understanding of nature, including using methods molecular, mathematical and computer modeling. Ability to organize, plan and implement a chemical experiment. The ability to interpret, objectively evaluate and present the results of one's work research. The ability to formulate new hypotheses and scientific problems in the field of chemistry, to choose directions and appropriate methods for their solution based on an understanding of modern issues research in the field of chemistry and taking into account the available resources. The ability to choose optimal research methods and techniques. Possession of the general methodology of carrying out scientific research.
Форма навчання
Попередні умови та додаткові вимоги
Навчальна дисципліна «NEMS та MEMS сенсори» базується на циклі дисциплін професійної та практичної підготовки, зокрема таких як «Механіка», «Електрика та магнетизм», «Оптика», «Атомна та ядерна фізика», «Твердотільна мікро і нанотехнологія», «Електрофізичні, хімічні та біологічні методи досліджень», «Фізика твердого тіла», «Нерівноважні процеси в напівпровідниках».
Зміст навчальної дисципліни
У програмі дисципліни розглядаються сучасні методи та матеріали для створення МЕМS та NЕМS приладів мікрообробкою, Top-down та Bottom-up технологіями, та фізичні явища, які покладено в основу роботи МЕМS та НЕМS приладів. Розглядаються принципи роботи МЕМS та NЕМS приладів для транспортних та космічних застосувань, мікрофонів портативних пристроїв для медицини та гаджетів, мікроопто-електромеханічних систем (MOEMS) для медицини та біології, струйних та 3Д принтерів. Студенти познайомляться із сучасними досягненнями в області створення напівпровідникових хімічних сенсорів на основі наноматеріалів, базовими фізичними явищами, які покладено в основу роботи сенсорів, оволодіння ними підходами до проведення вимірів токсичних та шкідливих газів та рідин за допомогою систем напівпровідникових сенсорів.
Рекомендована та необхідна література
1. В.А.Скришевський, Фізичні основи напівпровідникових хімічних сенсорів, Київ, Київський університет, 2006 2. Дзядевич С.В., Солдаткін О.П. Наукові та технологічні засади створення мініатюрних електрохімічних біосенсорів. / Київ: Наукова думка.– 2006.– 255с. 3. Бєлих І.А., Клещев М.Ф. Біологічні та хімічні сенсорні системи. / Харків: НТУ «ХПІ».- 2011.- 143 с.
Заплановані освітні заходи та методи викладання
лекції, практичні
Методи та критерії оцінювання
- семестрове оцінювання: 1. Модульна контрольна робота: РН 1.1-1.3, 2.1 - 30 балів/18 балів. 2. Доповідь та активна участь на практичних заняттях: РН 2.2, 3.1,4.1 - 30 балів/18 балів. Усього: 60 балів/36 балів. - підсумкове оцінювання: іспит - 40 балів/24 бали. .Усього: 100 балів/60 балів. - підсумкове оцінювання: відсутнє.
Мова викладання
українська

Кафедри

Наступні кафедри задіяні у викладанні наведеної дисципліни

Нанофізики конденсованих середовищ
Інститут високих технологій