Infopaket

NEMS and MEMS sensors

ДВС.2.01.04

Вибіркова дисципліна для ОП

Second

2023/2024

3 Semester

3

Здатність будувати адекватні моделі хімічних явищ, досліджувати їх для отримання нових висновків та поглиблення розуміння природи, в тому числі з використанням методів молекулярного, математичного і комп’ютерного моделювання. Здатність організовувати, планувати та реалізовувати хімічний експеримент. Здатність інтерпретувати, об’єктивно оцінювати і презентувати результати свого дослідження. Здатність формулювати нові гіпотези та наукові задачі в галузі хімії, вибирати напрями та відповідні методи для їх розв’язання на основі розуміння сучасної проблематики досліджень в галузі хімії та беручи до уваги наявні ресурси. Здатність обирати оптимальні методи та методики дослідження. Володіння загальною методологією здійснення наукового дослідження.

The educational discipline "NEMS and MEMS sensors" is based on a cycle of disciplines professional and practical training, in particular such as "Mechanics", "Electricity and magnetism", "Optics", "Atomic and nuclear physics", "Solid-state micro and nanotechnology", "Electrophysical, chemical and biological research methods", "Solid state physics", "Non-equilibrium processes in semiconductors".

The discipline program examines modern methods and materials for creating MEMS and NEMS devices by microprocessing, Top-down and Bottom-up technologies, and physical phenomena that is the basis for the operation of MEMS and NEMS devices. Principles of work are considered MEMS and NEMS devices for transport and space applications, microphones portable devices for medicine and gadgets, micro-opto-electromechanical systems (MOEMS) for medicine and biology, inkjet and 3D printers.

6.1 Valeriy Skryshevsky, Anatoliy Evtukh, Volodymyr Ilchenko, Anatoliy Shkavro, Volodymyr Verbitskiy, Microfabrication of IC and Microsystem Devices 6.2 Valeriy Skryshevsky, Anatoliy Evtukh, Valeriy Lozovski, Oleg Tretyak,Advansed Materials of Micro and Nano Technology 6.3 Valeriy Skryshevsky, Ivan Ivanov, Application of Microsystems Devices 6.4 Valeriy Skryshevsky, Anatoliy Evtukh, Volodymyr Ilchenko, Advanced Nanosystems Design and Fabrication Techniques

lectures, practical

- semester assessment: 1. Modular control work: RN 1.1-1.3, 2.1 - 30 points/18 points. 2. Report and active participation in practical classes: RN 2.2, 3.1, 4.1 - 30 points/18 points Total: 60 points/36 points. - final assessment: exam - 40 points/24 points. .Total: 100 points/60 points. - final assessment: absent.

Ukrainian