Інфопакет

ДВС.1.02.02 3 Сучасні технології і матеріали MEMS приладів

ДВС.1.02.02

Вибіркова дисципліна для ОП

Другий

2023/2024

3 Семестр

4

Здатність будувати адекватні моделі хімічних явищ, досліджувати їх для отримання нових висновків та поглиблення розуміння природи, в тому числі з використанням методів молекулярного, математичного і комп’ютерного моделювання. Здатність організовувати, планувати та реалізовувати хімічний експеримент. Здатність інтерпретувати, об’єктивно оцінювати і презентувати результати свого дослідження. Здатність формулювати нові гіпотези та наукові задачі в галузі хімії, вибирати напрями та відповідні методи для їх розв’язання на основі розуміння сучасної проблематики досліджень в галузі хімії та беручи до уваги наявні ресурси. Здатність обирати оптимальні методи та методики дослідження. Володіння загальною методологією здійснення наукового дослідження.

Очна форма

Навчальна дисципліна «Сучасні технології та матеріали MEMС» базується на циклі дисциплін професійної та практичної підготовки, зокрема таких як «Механіка», «Електрика та магнетизм», «Оптика», «Атомна та ядерна фізика», «Твердотільна мікро- та нанотехнологія, деградація та надійність матеріалів та структур на їх основі», «Нанофотоніка», «Вибрані розділи неорганічної та органічної хімії», «Електрофізичні, хімічні та біологічні методи досліджень».

У програмі дисципліни представлені основні принципи створення мікроелектромеханічних пристроїв, функціональний склад та конструктивно-технологічні рішення МЕМС – пристроїв, наведено класифікацію технологічних процесів, що використовуються в їхньому виробництві, особливості структур нано-діапазону, принцип електромеханічних аналогій, ефекти зміни масштабу, а також квантово-механічні ефекти, що діють у діапазоні 1-100 нм, науково-аналітичні прилади для досліджень наноструктур, методи формування малюнка та структур приладів, принципи, що використовуються при складанні наноструктур, основні групи матеріалів, які застосовують у МЕМС., а також проблеми та особливості застосування МЕМС для біотехнології.

1. Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures, ed. Mojtaba Kahrizi, InTech, 2012 2. Micromachining of Engineering materials, Ed. Joseph McGeough, Marcel Dekker Inc New York, 2002 3. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, eds.Veikko Lindroos, Markku Tilli , Ari Lehto and Teruaki Motooka, Oxford , Elsevier, 2010 4. Lyshevski, Sergey Edward, MEMS and NEMS : systems, devices, and structures, CRC Press LLC, N.W., 2002 5. N Mark J. Schulz, Vesselin N. Shanov, Yeoheung Yun - Nanomedicine Design of Particles, Sensors, Motors, Implants, Robots, and Devices (Artech House Series Engineering in Medicine & Biology) (2009) .W., 2002, 6. Vikas Choudhary ed., MEMS fundamental technology and applications, CRC Press Taylor & Francis Group 2013 7. VIJAY KUMAR ed., NANOSILICON, Elsevier, 2007

лекції, лабораторні

- семестрове оцінювання: 1. Модульна контрольна робота: РН 1.1-1.3, 4.1 - 46 балів/29 бали. 2. Самостійна семестрова робота: РН 2.1-2.2, 3.1. – 38 балів/23 бали. 3. Лабораторні роботи: РН 1.4,3.1 – 16 балів/8 балів. Усього: 100 балів/60 балів. - підсумкове оцінювання: відсутнє.

українська