Інфопакет

Оптична метрологія і стандартизація

ОК 25.

Обов’язкова дисципліна для ОП

Перший

2021/2022

6 Семестр

3

- Знати і розуміти основні поняття метрології - Розуміти широкий міждисциплінарний контекст спеціальності - Вміти вибирати стандартизований метод оцінювання та вимірювального контролю характерних властивостей продукції та параметрів технологічних процесів - Вміти використовувати принципи і методи відтворення еталонних величин при побудові еталонних засобів вимірювальної техніки - Вміти організовувати та проводити вимірювання, технічний контроль і випробування - Вміти встановлювати раціональну номенклатуру метрологічних характеристик засобів вимірювання для отримання результатів вимірювання з заданою точністю - Знати стандарти з метрології, засобів вимірювальної техніки та метрологічного забезпечення якості продукції - Знати та розуміти предметну область, її історію - Володіти термінологічною базою спеціальності, розуміти науково-технічну документацію державної метрологічної системи України, міжнародні рекомендації та настанови за спеціальністю.

Очна форма

1. Знати основні принципи повірки, калібрування та метрологічної атестації засобів вимірювальної техніки; розрахунку оптичних систем і закони фізичної оптики стосовно явищ інтерференції, дифракції, когерентності світла при формуванні зображення в приладах оптотехніки 2. Вміти запропонувати оптичні схеми для експериментального лазерного устаткування з розрахунком точності відтворення еталонів довжини в широкому інтервалі її значень і метрологічним забезпеченням прецизійних вимірювань товщин плівкових наносистем методами фотоелектричної еліпсометрії та лазерної інтерферометрії 3. Володіти навичками проведення оптико-фізичних вимірювань з заданою точністю, реалізації прецизійних кутових, азимутальних та спектральних еліпсометричних вимірювань для розрахунку в нанометровому інтервалі товщин і оптичних сталих напівпровідникових гетероструктур і тонких плівок з металевими шарами для потреб плазмоніки і фотовольтаїки

“Оптична метрологія та стандартизація” включає вивчення розділів: метрологія- наука про вимірювання, принципи розробки і побудови оптичних засобів вимірювання, спектроскопічні передумови прецизійного вимірювання малих довжин і розмірів нанооб’єктів, методи інженерного розрахунку оптичних засобів вимірювання і контролю якості наноматеріалів, техніка оптичних спектральних вимірювань, основні принципи побудови спектрометрів, метрологічне забезпечення оптичних поляризаційних вимірювань в режимі їхньої автоматизації засобами комп’ютерно-інтегрованих систем.

Основна: 1. П.І. Неєжмаков. Міжнародна система одиниць. За матеріалами доповіді 2018 року в КНУТШ 3. Прикладна оптична спектроскопія/ В.І. Григорук, П.А. Коротков. К.: ВПЦ «Київський університет», 2016. – 574 с. 4. Лазерна спектроскопія: навч пос. / В.І. Григорук, П.А. Коротков. – К.: ВПЦ «Київський університет. 2017. - 263 с. Додаткова: 1. Кованжі П.О., Прокопець В.М., Поперенко Л.В., Бондаренко В.А. АВТОМАТИЗОВАНИЙ СПЕКТРОЕЛІПСОМЕТРИЧНИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ЗАСТОСУВАННЯ В ОПТИЧНІЙ МЕТРОЛОГІЇ НАНООБ`ЄКТІВ. Матеріали 12-ї ВНПКМУС «Технічне регулювання, метрологія , якість, інформаційні та транспортні технології», 2021, О. С. 89-93. 2. Handbook of Optical Dimensional Metrology, edited by Kevin Harding. CRC Press. London, New York. 2013, 480 p. 3. Rajpal S. Sirohi. Introduction to Optical Metrology. CRC Press. London, New York. 2016, 408 p.

Методи викладання: лекції, лабораторні роботи, модульні контрольні роботи, іспит.

Семестрове оцінювання: 1. Модульна контрольна робота 1: 5 балів, 2. Модульна контрольна робота 2: 5 балів, 3. Лабораторні роботи (6 робіт):– 5 балів за кожну. Підсумкове оцінювання у формі іспиту: - 60 балів.

Українська