Інфопакет

Фізичні процеси на поверхні твердих тіл

ВБ 3.3

Вибіркова дисципліна для ОП

Другий

2021/2022

3 Семестр

5

Результатом прослуховування курсу є поглиблене вивчення найсучасніших підходів до опису основ роботи транзисторів метал-діелектрик-напівпровідник з приповерхневим каналом провідності нанодовжини та пониженої вимірності.

Очна форма

Навчальна дисципліна «Фізичні процеси на поверхні твердих тіл» має зв'язок з навчальними дисциплінами «Квантова та напівпровідникова електроніка», «Фізика поверхні», «Фізика конденсованого середовища»

В курсі з єдиної точки зору розглядаються питання фізики приповерхневих процесів провідності, які лежать в основі роботи найпоширеніших пристроїв сучасної напівпровідникової електроніки – транзисторів метал-діелектрик-напівпровідник, де канал провідності реалізується в тонкій приповерхневій області.

1. Ю.О. Кругляк, М.В. Стріха. Фізика нанотранзисторів: устрій, метрика та керування // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. -2018. – т. 15, №.4. – С.18-40. 2. Ю.О. Кругляк, М.В. Стріха. Фізика нанотранзисторів: теорія MOSFET в традиційному викладі, основи моделі віртуального витоку й наближення виснаження // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2019. – т. 16, №.1. – С.7 -40. 3. Ю.О. Кругляк, М.В. Стріха. Фізика нанотранзисторів: поверхневий потенціал, напруга на затворі та рухливий електричний заряд у масивній структурі MOS та в тонкій SOI // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2019. – т. 16, №.2. – С.5 -31. 4. Ю.О. Кругляк, М.В. Стріха. Фізика нанотранзисторів: 2D електростатика MOS і модель віртуального витоку // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. - 2019. – т. 16, №.3. – С.19 -41.

Лекції, підсумкові контрольні роботи, самостійні завдання (реферати), підсумковий залік

Оцінюються контрольні роботи, самостійні роботи (реферати), відповіді на заліку. Вклад результатів навчання у підсумкову оцінку, за умови їх опанування на належному рівні і успішної здачі всіх робіт наступний: знання до 50 %; вміння – до 35%; комунікація – до 5%; автономність та відповідальність – до 10%.

Українська